PVD,CVD用工艺气体供气系统设备

服务单位

上海大学

购置日期:2010-03-03

制造厂商:法液空

生产国别:无

规格型号: PVD,CVD用

单位地址:上海市宝山区上大路99号上海大学

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详细信息与指标

功能/应用范围:特种气体输送及尾气处理

主要附件:无

主要技术指标:气体输送系统; 附属气体系统; 特种气体气体侦测警报系统 特种气体气体设备状态监控

技术特色:无

服务实例:无

仪器的服务信息

每年可供对外服务(机时):无

上年对外服务(机时):无

接待时间(工作日):工作日

收费标准(元/样品):1000

每小时占用费用(元):无

仪器联系人:路林

联系电话:021-56334402

传真:无

电子邮箱:lulinsh@shu.edu.cn