详细信息与指标

功能/应用范围：薄膜制备、器件制备

主要附件：分子泵；机械泵

主要技术指标：腔体极限真空度<5.0×10-8托；溅射阴极3个：2个2英寸，1个4英寸强磁；单基片承载最大尺寸为4英寸基片；基片可加热温度≥800度；基片可自转，转速：0-20rpm

技术特色：具有较高的真空度，可薄膜制备、器件制备一体化。

服务实例：无

仪器的服务信息

每年可供对外服务（机时）：无

上年对外服务（机时）：无

接待时间（工作日）：每周五

收费标准（元/样品）：300

每小时占用费用（元）：无

仪器联系人：黄健

联系电话：66136126

传真：无

电子邮箱：jianhuang@shu.edu.cn