详细信息与指标

功能/应用范围：用于TFT工艺设备PECVD、PVD、干刻设备等的氮气供给

主要附件：无

主要技术指标：容量：3立方米，最大压力1.5MPa

技术特色：大容量

服务实例：无

仪器的服务信息

每年可供对外服务（机时）：无

上年对外服务（机时）：无

接待时间（工作日）：周一至周五

收费标准（元/样品）：200元/小时

每小时占用费用（元）：无

仪器联系人：孙翔

联系电话：56334402

传真：无

电子邮箱：nivlaalvin@shu.edu.cn