成果概况
该项目具体表现为新装备以及由此产生的新技术。
随着石墨烯和其它前沿性新型材料研究成果的不断涌现，尤其在电极材料等领域的应用技术的不断提高和推广，该设备与技术的推广与应用将实现规模化与产业化，产生重大的社会效益和经济效益, 对推动我国在新型材料研究和器件制备具有重要的战略意义。
专利情况
本项目知识产权归属上海交通大学，已经申请国际发明专利1项、国家发明专利3项，其中同步申请的3项实用新型专利已授权，具体如下：
国际专利：
（1）紫外光/臭氧表面清洗和氧化改性真空设备系统，申请号：PCT/CN2013/082969。
国内专利：
（1） 用于化学气相和紫外光化学干法表面清洗改性的真空装置，申请号：201220605307.0, 授权号：CN203002359U；
（2） 一种对电子元件改性与电学性质表征的设备，申请号：201220585177.9，授权号：CN202948906U；
（3）紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性真空设备，专利号：ZL201320349961.4，已授权。
市场前景与领域运用
该项目不仅可用于对传统材料（基底和探针）、新型材料（石墨烯）和器件实施高效光化学清洗、掺杂或氧化改性，同时在半导体产业微纳加工技术中高效、快捷的清除光刻胶残胶，提高元件质量和成品率。
技术创新点
紫外光/臭氧表面处理技术利用臭氧的强氧化性能有效去除表面有机物，并对某些材料（如石墨烯）实现干法氧化改性，它在前沿研究、能源、环境等多个领域发挥着越来越重要的作用。然而，目前常规的紫外光/臭氧表面处理技术由于功能单一和可控性差，不能有效控制材料的氧化改性过程。经过数年的摸索，本项目解决了上述问题，与同类技术相比可控性强、节能环保、性价比高，这对于推动新型材料、器件以及微纳元件加工技术等在未来产业化中的应用具有重要意义。
