详细信息与指标

功能/应用范围：半导体特性分析系统用于测试半导体器件和纳米器件的电学综合性能，提供测试报告，图形，为设计人员提供数据参考。

主要附件：系统主机具备计算机配置 系统软件

主要技术指标：1、系统具备3个高分辨率SMU单元； 第1个SMU的电流测量范围为100fA-100mA；电压测量范围1μV-210V 第2个SMU的电流测量范围为100fA-100mA；电压测量范围1μV-210V 第3个SMU的电流测量范围为0.1fA-100mA，精度为10fA，电压测量范围1μV-210V 最大电压源为210V，电压源设定最小分辨率（Force Resolution）5mV； 2、系统C-V单元技术要求： 频率范围：1KHz-10MHz； 频率精度：±0.1%； 偏置电压：±30V（差分模式下为±60V）； 系统具备C-V参数分析能力，可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电压、开启电压、体掺杂、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势等参数。

技术特色：高精度电子信号输出

服务实例：无

仪器的服务信息

每年可供对外服务（机时）：无

上年对外服务（机时）：无

接待时间（工作日）：周一至周五

收费标准（元/样品）：500

每小时占用费用（元）：无

仪器联系人：肖胜雄

联系电话：54642746

传真：54642746

电子邮箱：xiaosx@shnu.edu.cn