详细信息与指标

功能/应用范围：镀膜

主要附件：无

主要技术指标：2个射频源，1个直流源。300W

技术特色：可共溅射，全自动控制

服务实例：无

仪器的服务信息

每年可供对外服务（机时）：无

上年对外服务（机时）：无

接待时间（工作日）：周一

收费标准（元/样品）：1000

每小时占用费用（元）：无

仪器联系人：曾志刚

联系电话：13818945625

传真：无

电子邮箱：zgzeng@shu.edu.cn