成果概况
新产品、新技术
专利情况
拥有自主知识产权
市场前景与领域运用
技术创新点
硅基纳米线湿度传感器是一种基于硅纳米线无电镀镍复合结构的微纳湿度传感器件。该器件是在N型硅衬底上采用电化学刻蚀技术制作大面积硅纳米线阵列，然后在该阵列上无电镀沉积镍薄膜形成Ni/SiNWs纳米复合结构。由于该结构具有大的长径比和比表面积，其微观结构独特，能够产生独特的物理、化学特性，其对水分子的吸附和解吸附能力都较纯硅纳米线阵列要好。经500℃ RTA快速热退火处理后，该器件表面电阻率增大，电容感湿性能增强，具有湿度-电容响应线性好，工作温度范围广大、迟滞小、响应迅速等优点，经555集成电路电容频率转换后可构建低成本、可集成和高性能湿度传感器。本发明工艺简单，与集成电路工艺兼容，制作成本低，可批量生产，应用前景广阔。
